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大视野外观检测机(160S)应用于:

 

1. 蓝宝石衬底检测 (Sapphire Wafer Defect Inspection

2. 碳化硅检测 (SIC Wafer Surface Defect Inspection

3. 砷化镓检测 (GaAs Wafer Defect Inspection

4. 氮化镓检测 (GaN Wafer Defect Inspection

5. 钽酸锂检测 (LT Wafer Defect Inspection

6. 硅片检测(Silicon Wafer Surface Defect Insection

7. 可替代 Candela

 

 

 

划痕缺陷检测

砷化镓,碳化硅及蓝宝石衬底片的划痕缺陷照片

 

 

 

 

坑洞缺陷检测

砷化镓,碳化硅及蓝宝石衬底片的坑洞缺陷照片

 

 

 

 

崩边缺陷检测

砷化镓,碳化硅及蓝宝石衬底片的崩边缺陷照片

 

 

 

 

 

 抛光不完全缺陷检测

砷化镓,碳化硅及蓝宝石衬底片的抛光不完全缺陷照片

 

 

 

 

 

 优势: 完整大图显示,可全局呈现缺陷分布位置及真实影像,方便工程人员作线下讨论-------  平片、光片(左图)与 PSS工艺后(右图)

砷化镓,碳化硅,PSS 蓝宝石衬底片的缺陷照片                                                  

 

 

 

 

 

 

Candela 检测 :与Candela 检测对比验证,对于划痕检测,我司设备检测结果优于 Candela

Candela 的缺陷图

 

 

 

Candela对比图,发现 Candela 会把浅划痕误判为脏污(Candela 粉红色为脏污 ,蓝色为划痕)

Candela 的缺陷图

 

 

 

 Candela 将划痕误判为脏污,且无法判断崩边

Candela 的缺陷图

 

 

 

 

 

方片检测 ,蓝宝石屏幕检测

蓝宝石异形片方片检测缺陷照片